一般说来，能够生产纯气体、高纯气体、电子工业用气体产品的企业，都有一定的技术力量和仪器设备，管理也十分到位。标准的实施虽然一般没有什么大的问题，但微量杂质的分析问题可能是它们共同的难点所在。

电子工业用气体是一种有特殊用途的气体，在半导体、集成电路的生产中，或者用于气相淀积、离子注入、等离子工艺，或者用于蚀刻、钝化、外延、掺杂，或者作为载气、加压、清洗、保护、覆盖、溅射、退火、扩散等等。它们对使用有害的杂质的要求相当严格，集成度越高，要求越高。

公司带您了解与纯气体、高纯气体不同，电子工业用气体标准关心的是于使用有害的杂质，而于使用无害的杂质通常不予规定，杂质及其含量指标由使用要求确定，对于诸如氧、水等具有氧化性或还原性的杂质要求往往特别严格，气体的纯度由杂质含量确定，低纯度97%，纯度要求已达到99.99999%。

纯气体、高纯气体重在气体的纯度，考虑了所有可能存在的杂质，杂质含量随纯度确定。纯气体的纯度通常在99.99%以上，高纯气体通常在99.999%以上。纯度很高的高纯气体不一定能符合电子工业用气的要求；反之，纯度较低的气体产品不一定不能用于电子工业，关键是含有的杂质水平是否满足使用要求。

我国现行的电子工业用气体标准几乎都是采用SEMI（半导体设备与材料国际组织）标准而制定的，今后可能也一样。SEMI是一个有1200多个企业参加的、组织半导体设备和材料方面的国际展览、技术交流、制定标准和规范的一个国际组织。SEMI制定的标准，保持了技术上的**性。密切结合微电子技术的发展，反映了当前半导体工业的国际水平，有较强的科学试验依据和生产技术的支持，具有较高的科学性、**性、实用性，内容较全面，标准配套。在一定意义上，已成为半导体工业的国际性语言。